Ứng dụng cảm biến áp suất wika model WUD-20, WUD-25, WUD-26
- Ngành công nghiệp bán dẫn, màn hình phẳng và quang điện
- Cung cấp khí siêu tinh khiết trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn
Tính năng đặc biệt cảm biến áp suất wika model WUD-20, WUD-25, WUD-26
- Đo áp suất chính xác cao 0,15% RSS
- Ổn định lâu dài tuyệt vời
- Khử nhiễu tín hiệu và che chắn
- Đo áp suất tham chiếu chân không
- Bù nhiệt độ hoạt động
Mô tả cảm biến áp suất wika model WUD-20, WUD-25, WUD-26
- Đáng tin cậy
Đầu dò độ tinh khiết siêu cao dòng WUD-2x kết hợp các khái niệm đầu dò hiện đại với tín hiệu đầu ra tương tự. Do đó, các phép đo áp suất chính xác và an toàn nhất cần thiết cho các yêu cầu của thị trường ngày nay được cung cấp.
Đo áp suất dựa trên tham chiếu chân không thực và các biện pháp điện tử để che chắn nhiễu và khử nhiễu tín hiệu đảm bảo đo áp suất có độ chính xác cao và độ ổn định lâu dài tuyệt vời.
Bù nhiệt độ chủ động làm giảm tác động của việc thay đổi nhiệt độ lên đầu dò, cho phép vận hành an toàn ngay cả trong các ứng dụng có nhiệt độ dao động cao, ví dụ: Hiệu ứng Joule-Thomson trong trường hợp khí nở ra.
Các đầu dò WUD-25 (dòng chảy qua) và WUD-26 (gắn bề mặt) được thiết kế đặc biệt để duy trì các ứng suất xoắn thường phát sinh trong quá trình lắp đặt. Thiết kế đặc biệt của cảm biến màng mỏng giúp loại bỏ nguy cơ hỏng cảm biến do tải trọng ở kết nối quy trình hoặc các mối hàn. - Linh hoạt
WUD-2x có thể được lắp đặt dễ dàng trong các hệ thống phân phối khí “tại chỗ”. Màn hình LED sáng có thể xoay và dễ đọc từ mọi vị trí.
Các hoạt động giám sát và điều khiển dành riêng cho ứng dụng có thể được thực hiện thông qua hai đầu ra công tắc có thể lập trình. - Gọn nhẹ
Với kích thước nhỏ gọn, WUD-2x là đầu dò UHP nhỏ gọn nhất trên thị trường. Do đó, nó phù hợp tối ưu để lắp đặt trong các ứng dụng có không gian lắp đặt hạn chế và ngay cả trong các nhà máy hiện có, nó có thể dễ dàng trang bị thêm.
Thông số kỹ thuật cảu cảm biến áp suất wika model WUD-20, WUD-25, WUD-26
- Dải đo psi 30 60 100 160 250 350 500 1.000 1.500 2.000 3.000 5.000
thanh 2 4 7 11 17 25 36 70 100 145 225 360
An toàn quá tải psi 120 120 210 320 500 750 1.100 2.100 3.000 4.200 6.600 10.000 - Áp suất nổ psi 1.800 1.800 2.200 2.200 4.800 6.200 7.400 7.400 8.000 10.500 10.500 10.500 10.500
Các phạm vi và đơn vị đo khác (e. G. MPa, kg / cm²) theo yêu cầu - Áp suất tuyệt đối: 0 … 2 bar đến 0 … 60 bar
- Áp suất chân không: -1 … 1 bar đến -1 … 250 bar
Nguyên tắc đo Cảm biến màng mỏng kim loại - Nguyên vật liệu
Kết nối quy trình ướt: thép không gỉ 316L, theo SEMI F20 (tùy chọn: 316L VIM / VAR)
Cảm biến: 2.4711 / UNS R30003
Vỏ thân dưới: 304 SS
Thành phần nhựa: PC / PBT
Bàn phím: TPE - Cửa sổ hiển thị: PC
Kiểm tra rò rỉ heli trong bo mạch <1 x 10-9 mbar l / giây (atm STD cc / giây) trên SEMI F1
Hoàn thiện bề mặt Được đánh bóng bằng điện, điển hình Ra ≤ 0,13 µm (RA 5); tối đa Ra ≤ 0,18 µm (RA 7), trên mỗi SEMI F19
Khối lượng chết WUD-20 <1,5 cm³
WUD-25 <1 cm³
WUD-26 <1 cm³
Môi chất cho phép Khí, hơi, lỏng đặc biệt
Nguồn điện U + DC 10 … 30 V (với tín hiệu đầu ra 4 … 20 mA và DC 0 … 5 V)
DC 14 … 30 V (với tín hiệu đầu ra DC 0 … 10 V) - Tín hiệu đầu ra và
tải tối đa
4 … 20 mA, 3 dây, RA ≤ (U + – 10 V) / 0,02 A
DC 0 … 5 V, 3 dây, RA> 5 kΩ
DC 0 … 10 V, 3 dây, RA> 10 kΩ
Công suất Pmax 1 W
Mức tiêu thụ hiện tại tối đa 50 mA
Tổng dòng điện
tiêu dùng
tối đa 250 mA (bao gồm cả dòng chuyển mạch)
Khả năng điều chỉnh điểm 0 -3,5 … +3,5% tín hiệu đầu ra hiện tại của khoảng (thông qua chiết áp)
-2.0 … +3.5% tín hiệu đầu ra hiện tại của khoảng (thông qua chiết áp)
Phản hồi tín hiệu
(10 … 90%)
≤ 300 ms
Chuyển điểm Điều chỉnh riêng thông qua các phím điều khiển bên ngoài
Loại đầu ra chuyển mạch bóng bán dẫn NPN
Số lượng 1 hoặc 2
Chức năng Thường mở, thường đóng, bật, tắt
Chuyển dòng SP1 / SP2: 100 mA - Độ chính xác ≤ 0,5% của nhịp
Trưng bày
Phiên bản LED 7 đoạn, màu đỏ, 4 chữ số, chiều cao 8 mm, xoay 270 °
Độ chính xác ≤ 1,0% của khoảng ± 1 chữ số
Cập nhật 0,2 giây / 0,5 giây / 1 giây / 5 giây / 10 giây / 60 giây (có thể điều chỉnh)
Độ chính xác ≤ 0,15% nhịp (≤ 0,4 với dải đo ≤ 2 vạch) RSS (bình phương tổng căn)
≤ 0,3 1) (≤ 0,6 1) với dải đo ≤ 2 bar)
Độ không tuyến tính ≤ 0,1% của nhịp (≤ 0,15 với dải đo ≤ 2 bar) BFSL theo IEC 61298-2 - Độ trễ ≤ 0,14% của nhịp
- Độ không lặp lại ≤ 0,12% của nhịp
- Độ ổn định mỗi năm ≤ 0,25% nhịp (điển hình) ở điều kiện tham chiếu (≤ 0,4 với dải đo ≤ 2 bar)
- Nhiệt độ cho phép
Trung bình -20 … +100 ° C [-4 … +212 ° F] - Môi trường xung quanh -10 … +60 ° C [14 … +140 ° F]
Lưu trữ -10 … +60 ° C [14 … +140 ° F] - Phạm vi nhiệt độ định mức
(Trung bình)
-20 … +80 ° C [-4 … +176 ° F] (tích cực bù)
Hệ số nhiệt độ
trong phạm vi nhiệt độ định mức
(tích cực bù)
TC trung bình bằng 0 ≤ 0,10% nhịp / 10 K
TC trung bình của nhịp ≤ 0,15% nhịp / 10 K
Khu vực lắp ráp và đóng gói Phòng sạch loại 5 theo tiêu chuẩn ISO 14644
Đóng gói Đóng bao kép cho mỗi SEMI E49,6
Khả năng chống va đập 15 g (11 ms), 30 g (6 ms) theo tiêu chuẩn IEC 60068-2-27
Khả năng chống rung 7,5 mm hoặc 2 g (1 … 200 Hz) / 5 g (200 … 500 Hz) theo IEC 60068-2-6
An toàn điện - Điện trở ngắn mạch S + so với U Bảo vệ phân cực ngược U + so với UWeight xấp xỉ. 0,2 kg
